新冠肺炎疫情给全球公共卫生安全带来巨大挑战。中国航天科技集团有限公司九院771所积极践行社会责任，紧急研制红外热电堆传感器并投放市场，为抗疫战场注入航天电子力量。

整合优势资源突破关键技术

额温枪、耳温枪等测温仪器是进行发热筛查的主要工具之一，其核心部件就是红外温度传感器。

3月5日，在所长唐磊的部署下，771所成立了红外热电堆传感器项目联合攻关组，依托集成电路生产线开展研制工作。

该项目采取专项日报制度，由771所副所长郝沄担任行政总指挥，总师薛智民担任技术指挥，下设芯片组、封装组、测试组、调度组。他们以一个月内完成红外热电堆传感器研制并投放市场为目标，从关键工艺开发、物资采购、设备保障、市场开发等方面全方位推进项目。

在项目实施阶段，项目总师驻扎工作现场，明确研制路线，确定设计工艺方案。

在此过程中，芯片组集中攻关，突破了晶圆背深腔刻蚀关键技术，保证了传感器芯片的散热性能；突破了高精度多晶硅电阻关键技术，满足了红外热电堆传感器的高灵敏度要求。

封装组根据红外热电堆传感器芯片背面空腔特点，识别出芯片粘接关键工艺并完成工艺开发验证，具备了背腔芯片封装的技术能力。同时，他们对设备进行了改造设计，为批量产品封装打下基础。

快速研制成功助力疫情防控

项目启动后，771所各部门大力协同，以保证产品尽快投放市场、贡献防疫力量。

市场部调研市场需求，科研生产部协调资源，确保芯片研制、组装、测试等工序顺利进行，物资部提前畅通物料采购渠道，设备管理部加急申购关键设备备件。

3月31日，在红外热电堆传感器芯片进入背腔刻蚀关键工艺步骤时，由于刻蚀机长期超负荷运转，设备承片台顶针断裂，关键刻蚀步骤被迫中断。

尽管疫情形势仍然严峻，但该团队齐心协力抢进度、快速解决问题。维修人员准确定位故障原因，设备管理部协调备件24小时到货，维修及工艺人员和厂家人员连夜安装调试，设备在24小时内恢复正常。

4月5日，771所自研的红外热电堆传感器芯片经测试后功能正常。这标志着该所具备红外热电堆传感器芯片设计制造的能力，红外热电堆传感器研制成功。

4月7日，771所与深圳一公司签订了首批20万只红外热电堆传感器芯片供应合同。

随后，该所红外热电堆传感器芯片的月产能力将达165万只，进一步保障测温仪器生产，为防控疫情作出更大贡献。（常正阳）