陈怀礼从洁净操作间走出来，到风淋口，摘掉帽子，脱下穿了一天的连体服，长长地舒了一口气。

外面天色渐暗，楼下的白玉兰散发着阵阵幽香。几个月来，不停地试验、调试、整改、迭代、计算，今天，溅射薄膜压力传感器考核性试车终于满足了要求。攻克难关后的轻松和释然如甘甜美酒，使得总设计师陈怀礼有点醺醺然……

在微纳世界里艰辛雕刻

溅射薄膜压力传感器是中国航天科技集团有限公司六院11所远征公司采用先进的半导体生产工艺独立自主研发的产品，在多种型号发动机上均有应用。

一直以来，极端温度环境对发动机传感器测量准确性都是一个极大的考验。与其它的传感器相比，溅射薄膜压力传感器摒弃了传统的胶粘工艺，显著改变了其长期稳定性和抗蠕变特性，使产品的使用温度范围增大、体积变小、精度更好，能适用于恶劣的外部环境。

然而，研制如此高技术含量的传感器谈何容易。为攻克这一难题，2017年下半年，远征公司专门成立溅射薄膜压力传感器研发组，将设计、工艺和生产融为一体。技术消化、吸收、再创新……项目组前进道路总是充满艰辛和曲折。

让芯体准确输出电信号，相当于在微纳世界里雕刻。刻画出一幅薄膜图形难度不大，一个好的机床就可以雕刻出一幅精美的图案，但是将薄膜通电，在低温、大振动、强冲击等恶劣的环境条件下监测压力的变化情况，并且要保证足够的精度和几年时间内足够的稳定性，这成了摆在团队面前的难题。

进入生产芯体的洁净间，更能感受到芯体制造对生产环境要求之苛刻。一个直径两三微米的颗粒就可能直接导致一个芯体的报废。在如此高的洁净度和多余物控制要求下，生产出完美的芯体，还需要突破重重关卡。

产品的工作环境复杂，即使同批次的产品在搭载试车的考核下，得到的数据也不尽相同。其中最大的难点就是如何在不同尺寸、不同产品系列中，应用与之相匹配的性能参数，从而使产品性能达到最优。为此，团队始终秉持着对技术的尊重和对创新的支持，记录、调整、迭代、探索成了队伍的工作常态。

攻关无处不在，项目组投入疑点梳理、数据分析，设计、工艺、操作人员开启作战模式，有时累哑了嗓子，有时试验通宵达旦。

一个小小性能参数的调整，设计人员最后能得出几十项故障原因，上百条改进措施。“在传感器技术上，我们‘欠账’太多，出现许多知其然而不知其所以然的问题。现在，我们团队必须在研发上下足功夫，提升产品的可靠性。”戴着金丝眼镜，看上去娇小玲珑的设计师乔智霞语气坚定。

正是凭借这种滴水穿石的精神，产品的质量得到一步步提升。“攀登科技高峰从来不易，任何一款新技术产品的研制历程本身就是一部艰辛的创业史，困难史。”陈怀礼说。

研制过程中，年轻组员梁博和邱涛一直与陈总并肩战斗，并从他的言传身教中受益匪浅。他们表示，老一辈航天人身上的韧劲特别值得学习，实际上，对于我们做技术的，不论产品试车考核是成功还是失败，每一次都是技术上的提升，都是学习的机会。

技术负责 一站到底

一个产品完美的设计方案出来了，任务仅仅完成了30%，后面还有大量的工艺摸索和改进工作。指导工人如何操作设备，加工出合格的产品，每一个环节都不能掉以轻心。

项目组成员自始至终实行“一站式”服务，他们不仅是设计还是工艺，也是操作人员，当设备出现了轻微故障，还能动手修理。

净化间内，梁博正在和工人一起进行离子束溅射镀膜，将绝缘材料、电阻材料以分子的形式淀积在不锈钢膜片上，形成分子键合的绝缘薄膜和电阻材料薄膜，并与弹性的不锈钢融为一体。

看图、镶嵌、切割、研磨，周而复始，枯燥而又艰苦的操作训练是操作工人技能成长的秘诀。多琢磨、找方法、求创新，帮助操作工人在技术上尽快成长，引导他们以精益求精的工作态度对待手底下的每一件产品，质量才能得到有效提升。

“技术负责要一站到底，还要主意出在点子上，帮忙帮到根子上。”乔智霞说，技术要提升，永远要无限地接近设计需求，然后再以经验的形式落地，指导后续的工作。

研发组成立到现在，完成了几百件不同型号溅射薄膜压力传感器的生产、试验和交付，推动交付年产量增加200%。同时，新产品研发不断取得突破，研制出耐高温200℃的标准信号输出传感器，实现高温飞行测点在线测量，性能处于国内领先水平，且拥有自主知识产权；研制出小量程压力传感器和绝压压力传感器，不断补充可测压力量程和测量方式……

“正是这个团队一步步踏实的工作，使产品的合格率一点点攀升，由原来的百分之三十几到现如今百分之七十多，这不仅仅是简单的数字变化，而是迈向高质量发展的重要一步。”团队负责人李伟说。（梅小娟）